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事实上，EUV光刻�机，早在2016年就量产出来了，但后来也经历了不断的�迭代，而这种EUV光刻机，有一个非常重要的指标�，那就是数值孔径。数�值孔径越大，自然通过的光线就越多了，早期的EUV光刻机，其数值孔径是NA…