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这时候台积电�的林本坚觉得，为什么要去搞157nm波长�的光刻机呢，在193nm波长的光线前面，加一层水，而193nm波长的光线，通过水的�折射后，变成134nm了，比157nm波长更短了。但尼康、�佳能觉得自己在1…