事实上，EUV光刻机，早在2016年就量产出来了，但后�来也经历了不断的迭代，而�这种EUV光刻机，有一个非常重要的指标，那就是数值孔径�。数值孔�径越大，自然通过的光线就越多了，早期的EUV光刻机�，其数值孔径是NA…

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