金融界2025年�7月16日消息，国家知识产权局信息显示，三田科技（大连）有限公�司取得一项名为“一种新型测长装置”的专利，授权公告�号CN223106852U，申请日期为2024年09月。专利摘要显示，本实用新型…

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事实上，EUV光�刻机，早在2016年就量产出来了，但后来也经历了不�断的迭代，而这种EUV光刻机，有一个非常重要的指标，那就是数值孔径。数值孔径越大，自然通过的光线�就越多了�，早期的EUV光刻�机，其数值孔径是NA…