与此同时，为了解决为了的1nm以下制程的制造问题，ASML正在积极的研发具有0.75NA的HyperNAEUV光刻机，这也意味着�其将面临更大�的技术挑战，要�知道ASML花了约20年的时间才成功推动标准�型EUV光…

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