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这时候台积电的林本坚觉得，为什�么要去搞157nm波长的光刻机呢，在193nm波长的�光线前面，加一�层水，而193nm波长的光线，通�过水的折射后，变成134nm了，比157nm波长更短了。但尼�康、佳能觉得自己在1…