事实上，EUV光刻机，早在2016年就量产出来了，但后来也经历了不断的迭代，而这种EUV光刻☹️机，有一�个�非常重要的指标，那就是数值孔径。数值孔径越大，自然通�过的光线就越多了，早期的EUV光刻机，其数值孔径是�NA…

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