这时候台积电的林本坚觉得，为什么要去搞�157nm波长的光刻机�呢，在193nm波长的光线前面，加一层水，而�193nm波长的光线，通过水的折射后，变成134nm了，比157nm波长更短了。但尼康、佳能�觉得自己在1…

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